一、產(chǎn)品概述：

Nikon S207D 掃描式光刻機是一款專為半導體制造設計的高性能設備，支持 200mm 晶圓的生產(chǎn)。該機型采用先進的掃描光刻技術，能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率和高精度的圖案轉(zhuǎn)移，適用于集成電路、微處理器和存儲器等電子元件的制造。憑借其快速的曝光速度和穩(wěn)定的性能，S207D 非常適合大批量生產(chǎn)，同時用戶友好的操作界面和自動化功能使得操作簡單高效。這些特點使得 Nikon S207D 成為現(xiàn)代半導體制造過程中的重要工具，滿足行業(yè)對高質(zhì)量和高效率的需求。

二、設備用途/原理：

該設備通過高強度光源將掩模上的圖案投影到涂有光刻膠的晶圓表面。工作過程中，光源發(fā)出特定波長的光線，通過高分辨率光學系統(tǒng)，精準地掃描掩模并將圖案投影到晶圓上。曝光后，光刻膠的化學性質(zhì)發(fā)生變化，接著進行顯影，去除未曝光或已曝光的光刻膠，形成所需的圖案。隨后，利用刻蝕工藝將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓材料上，最后去除殘留的光刻膠。通過這一系列步驟，Nikon S207D 能夠高效地實現(xiàn)復雜圖形的精確轉(zhuǎn)移，滿足現(xiàn)代半導體制造的高標準需求。

三、主要技術指標：

四、設備特點

Nikon S207D掃描式光刻機

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.11µm

主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等